晶圓全自動真空固化烤箱
專為8吋及12吋設計的全自動化烤箱
商品簡述：
高潔淨、低污染設計
Class 10 不鏽鋼內槽，有效降低微粒污染
15 分鐘快速惰性氣體置換
將氧氣濃度降低至10ppm級別，防止氧化
±2°C 高精度均溫控制
支援多段升溫曲線，確保製程受熱穩定均勻
自動控制與物聯網整合
- 佈建感測器 ：溫度感測器、含氧量偵測器、N2氣體含量感測器、物料在席檢知器(Loader/Unloader/烤箱)，自動開關位置檢知。
- 佈建驅動器：烤箱自動開關馬達與控制器、風流控制馬達在Loader與烤箱設備各配置一個連網型PLC控制器；Loader與機械手臂之間的聯繫透過WiFi聯網。
產品應用
半導體乾燥設備
