偉勝乾燥工業將於 2026 年 9 月 2 日至 4 日參加 SEMICON Taiwan 台北國際半導體展，於南港展覽館 P5712 攤位，展出應用於半導體先進封裝製程的真空固化烤箱，呈現熱製程設備如何在高溫條件下同時維持全區域溫度一致性與腔體潔淨度。
 
隨著先進封裝朝更薄的基板、更多層的重佈線與更大面板尺寸發展，固化與退火製程的控制條件已不只是「達到設定溫度」。晶圓或載板上不同位置的溫度差異、腔體內殘留的水氣與溶劑、以及製程中的微粒與氧化風險，都會直接反映在後段良率，使熱製程設備的穩定度成為製程規劃階段的評估重點。
 
本次展出的真空固化爐採多區域精密溫控設計，配置多點熱電偶與獨立控溫區域，於恆溫段可將各區溫度穩定，並透過人機介面同步顯示多點即時溫度、真空壓力、爐內壓力、氮氣流量與含氧濃度，製程參數全程可記錄與追溯。腔體採高光潔度表面處理，可於 ISO Class 4潔淨環境中運轉；並以真空製程搭配精密流場域設計，使氮氣以穩定流向通過載盤，持續移除製程中產生的水氣與殘留溶劑。
 
設備另配置氮氣加溫回收裝置，將排出的氮氣導入熱能與溶劑回收系統循環再利用。相較於一次性排放，最高可減少 50% 的氮氣消耗，有助於降低產線運轉成本與碳排放。 偉勝期望透過真空固化爐，推動熱製程從仰賴設備設定值與操作經驗，進一步朝向製程條件可量測、可追溯及品質穩定化發展，協助半導體與先進封裝客戶提升製程控制能力，維持穩定的生產品質。 
 
歡迎於展期間蒞臨 P5712 攤位，現場了解真空固化爐的溫控表現與先進封裝製程應用。
展覽資訊
2026 SEMICON Taiwan 台北國際半導體展
展期｜2026 年 9 月 2 日－4 日
地點｜台北南港展覽館2館1樓
攤位｜P5712
歡迎在購票系統中，輸入折扣碼-偉勝乾燥攤位號碼: P5712，即可折抵展覽門票。

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