節能、溫控與潔淨結構
縮短升溫
2023 預熱器結構改良:工件進爐前先預熱,縮短爐內升溫段。
2025 縮短烤箱升溫時間之節能系統
熱能回收
2024 儲熱式廢熱回收系統:先儲存排氣中的熱能,再回送加熱。
2023 超高效傳遞式烤箱
特殊加熱方式
2024 真空環境用紅外線陣列加熱模組:真空環境缺乏熱對流,改以紅外線直接加熱工件。
2015 高功率UV-LED:UV-LED固化乾燥光源。
相關能力:廢熱回收設計節能20%~25%,可回收25%有機溶劑。
分區控溫
2024 各爐區即時溫度控制系統與方法:各區獨立量測、即時調整,一區偏差不拖累整批工件。
不停機調風量
2024 免開爐門即時調整風量之烘烤箱:運轉中從爐外調整,避免開門造成溫度下降與潔淨度中斷。
風門氣密
2024 雙層風門結構:風門關閉時的氣密,影響氮氣用量與爐內含氧量。
相關能力
・運轉中即時調校溫度均勻性,不需降溫停機,均勻度可達±1.5%。
・多層風門氣密性可達99%以上。
・氮氣主輔迴路自動切換大小流量,含氧量最低可達10ppm。
高溫潔淨腔體
2020 高溫無塵烤箱結構:高溫烘烤時維持腔體潔淨,對應530℃這類高溫無塵無氧化製程。
開關與轉動件
2020 門把結構、2020 軸承座結構、2023 閘門結構改良:爐門、閘門與轉動件需因應頻繁開關及高溫環境,結構設計需兼顧熱變形、耐用性與氣密性。
相關能力
・HEPA過濾效率99.97%,潔淨度最高ISO14644-1 Class 4 @0.3µm。
・特殊洩壓設計維持爐內正壓,內門設氮氣氣牆,降溫時以冷卻夾層間接冷卻,含氧量最低可達10ppm。
節能與加熱
此領域著重升溫效率與能源耗用,涵蓋熱能的產生、保存與回收。
縮短升溫
2023 預熱器結構改良:工件進爐前先預熱,縮短爐內升溫段。
2025 縮短烤箱升溫時間之節能系統
熱能回收
2024 儲熱式廢熱回收系統:先儲存排氣中的熱能,再回送加熱。
2023 超高效傳遞式烤箱
特殊加熱方式
2024 真空環境用紅外線陣列加熱模組:真空環境缺乏熱對流,改以紅外線直接加熱工件。
2015 高功率UV-LED:UV-LED固化乾燥光源。
相關能力:廢熱回收設計節能20%~25%,可回收25%有機溶劑。
縮短升溫
2023 預熱器結構改良:工件進爐前先預熱,縮短爐內升溫段。
2025 縮短烤箱升溫時間之節能系統
熱能回收
2024 儲熱式廢熱回收系統:先儲存排氣中的熱能,再回送加熱。
2023 超高效傳遞式烤箱
特殊加熱方式
2024 真空環境用紅外線陣列加熱模組:真空環境缺乏熱對流,改以紅外線直接加熱工件。
2015 高功率UV-LED:UV-LED固化乾燥光源。
相關能力:廢熱回收設計節能20%~25%,可回收25%有機溶劑。
溫度與風量控制
此領域著重爐內溫度均勻性,以及在運轉中調整溫度與風量、減少停機。
分區控溫
2024 各爐區即時溫度控制系統與方法:各區獨立量測、即時調整,一區偏差不拖累整批工件。
不停機調風量
2024 免開爐門即時調整風量之烘烤箱:運轉中從爐外調整,避免開門造成溫度下降與潔淨度中斷。
風門氣密
2024 雙層風門結構:風門關閉時的氣密,影響氮氣用量與爐內含氧量。
相關能力
・運轉中即時調校溫度均勻性,不需降溫停機,均勻度可達±1.5%。
・多層風門氣密性可達99%以上。
・氮氣主輔迴路自動切換大小流量,含氧量最低可達10ppm。
分區控溫
2024 各爐區即時溫度控制系統與方法:各區獨立量測、即時調整,一區偏差不拖累整批工件。
不停機調風量
2024 免開爐門即時調整風量之烘烤箱:運轉中從爐外調整,避免開門造成溫度下降與潔淨度中斷。
風門氣密
2024 雙層風門結構:風門關閉時的氣密,影響氮氣用量與爐內含氧量。
相關能力
・運轉中即時調校溫度均勻性,不需降溫停機,均勻度可達±1.5%。
・多層風門氣密性可達99%以上。
・氮氣主輔迴路自動切換大小流量,含氧量最低可達10ppm。
爐體結構與潔淨
此領域著重高溫、長時間運轉下的機構耐用性,以及降低爐體結構本身產生的微粒。
高溫潔淨腔體
2020 高溫無塵烤箱結構:高溫烘烤時維持腔體潔淨,對應530℃這類高溫無塵無氧化製程。
開關與轉動件
2020 門把結構、2020 軸承座結構、2023 閘門結構改良:爐門、閘門與轉動件需因應頻繁開關及高溫環境,結構設計需兼顧熱變形、耐用性與氣密性。
相關能力
・HEPA過濾效率99.97%,潔淨度最高ISO14644-1 Class 4 @0.3µm。
・特殊洩壓設計維持爐內正壓,內門設氮氣氣牆,降溫時以冷卻夾層間接冷卻,含氧量最低可達10ppm。
高溫潔淨腔體
2020 高溫無塵烤箱結構:高溫烘烤時維持腔體潔淨,對應530℃這類高溫無塵無氧化製程。
開關與轉動件
2020 門把結構、2020 軸承座結構、2023 閘門結構改良:爐門、閘門與轉動件需因應頻繁開關及高溫環境,結構設計需兼顧熱變形、耐用性與氣密性。
相關能力
・HEPA過濾效率99.97%,潔淨度最高ISO14644-1 Class 4 @0.3µm。
・特殊洩壓設計維持爐內正壓,內門設氮氣氣牆,降溫時以冷卻夾層間接冷卻,含氧量最低可達10ppm。
