「自動熱処理のエキスパート」 偉勝乾燥工業が、「SEMICON Taiwan 2023（国際半導体展）」に出展。
（9月6日〜8日、南港展覧館2号館1階）
今回の出展で目玉となる製品は、同社の「スマート・クリーン無酸化工業用オーブン」で、同装置は、スマートモニタリングおよび省エネ・CO2削減という優位性を備えている。さらに、全自動搬送ロボットとの連携や熱処理の自動設定にも対応しており、先端製造プロセスや自動化ラインの導入を進めるハイテク業界にとって、競争力を高める極めて強力なソリューションとなる。
スマートクリーン・無酸化工業用オーブン ― 半導体プロセス向けソリューション
同装置は、半導体製造におけるフォトレジストのソフトベーク、現像後のハードベーク、洗浄後の乾燥、あるいはキュアリングに最適なソリューションを提供する。EFEMやロボットアームとの連携においては、従来のSECS/GEM通信規格への対応に加えて、IPC、タッチパネル、および専用アプリケーションを搭載。これにより、装置の各種データをクラウドにアップロードできるほか、スマート監視カメラとの組み合わせにより、顧客のスマートファクトリー化を支援。IoTと無人工場のニーズを統合し、工場の完全自動化を実現する。また、炉扉に自動開閉ドアを採用することで、2槽それぞれの独立した制御を可能にし、1槽あたり最大50枚のウエハを同時に処理できる。そして、ユーザー目線の設計として、キーボード用引き出しや書類収納スペースを配置するなど、現場における操作利便性を大幅に向上させた。
省エネ・CO2削減のトレンドによって生まれたグリーンプロセスに対して、偉勝のスマートオーブンは、特許多層ダンパー構造を採用することで、99%以上の高い気密性を実現。同時に、装置本体の断熱設計を強化することで、20%～25%の省エネ効果アップを達成した。さらに、新設計の水冷システムを搭載したことで、1分間あたり平均で摂氏4.5度の冷却性能を実現している。また、装置全体の60％にリサイクル可能な素材を使用し、廃熱回収モジュールおよび溶剤（Solvent）回収システムを組み合わせることで、有機溶剤の25％を回収することに成功した。これはチャンバー内部の有機物の付着を効果的に抑制し、その後のメンテナンス時間を大幅に削減するとともに、製品歩留まりの安定化にもつながる。さらに、省電力化や環境汚染の低減といったメリットをもたらす。
偉勝乾燥工業は、自動化乾燥装置の研究開発、設計、製造、およびシステム統合を専門とし、近年は国内外の著名な大手ハイテク企業における乾燥プロセスの自動化に対応し、カスタマイズソリューションを提供。産業の各段階で求められる多様なベーキングや硬化プロセスの要求に対応するとともに、顧客ごとの生産スペースの配置に合わせ、専門的なプランニング・設計を行うことで、顧客の多様なニーズに応えている。
ニュース出典 経済日報
