特許・技術サービス
産業連携・市場ニーズ分析
情報統合・技術支援システム
Industry 4.0・IoT対応／
自動化システム統合
環境・安全衛生・
エネルギー管理
革新技術の研究開発
装置機構・電気制御の設計
研究開発の歩み
  • 1976
    SWO精密オーブン
    台車によるワーク搬入
    に対応
  • 1988
    QWOLクリーン・低酸素オーブン
    ワンパス冷却構造、N₂流量最適化ユニット
  • 2010
    WCO搬送式オーブン／WCOコンベア式オー ブン
    IR／UV硬化プロセスに対応
    効率および省エネ効果を向上
  • 2015
    QHWOL 530℃高温クリーン・低酸素オーブン
    溶剤回収装置
    エアカーテン断熱設計
    微粒子侵入防止構造
  • 2017
    SEシリーズ半自動オーブン
    EAPシステムへのデータ送信・収集、PLC／
    PC操作による作業性向上、ガスパージ隔離機
    構／メンテナンス容易なモジュール化内部構造
  • 2019
    AGV 自動化クリーン・無酸化オーブン
    無人化プロセスシステム統合
    AGV／EFEM連携による自動搬送に対応
    SECS/GEMおよびPCB ECI通信に対応
  • 2020
    loT オーブン、超高温蒸気反応炉
    IoT（モノのインターネット）監視アプリ
    リアルタイム遠隔監視
    電子生産履歴／電子バッチ記録
    CCD画像伝送に対応
  • 2023
    2炉式・ダウンフロー自動化クリーン低酸素 オーブン
    廃熱回収、コンベア式オーブン
    外部冷却器
    外部温度調節機構
    新設計のクリーン構造、設備予兆監視・事前警報システム
  • 2025
    スマート・クリーン低酸素オーブン
    半導体パッケージ向け精密温度制御
    高クリーン・低酸素環境設計、スマート自動
    温度制御システム
    スチール製仮キャリアおよびガラスパネル向
    け専用設計
    多彩なロード・アンロード方式に対応