全自動化高溫無塵無氧化烤箱
商品編號：AQHWOL
商品簡述：
- 全自動化烤箱可與EFEM或機械手臂搭配
- 可把相關數值上傳至伺服器，達到無人工廠自動化之目的
特點說明
自動控制與物聯網整合- 佈建感測器 ：溫度感測器、含氧量偵測器、N2氣體含量感測器、無人搬運車(AGV)電池容量檢知、物料在席檢知器(Loader/Unloader/烤箱)，自動開關位置檢知。
- 佈建驅動器：烤箱自動開關馬達與控制器、無人搬運車(AGV)(驅動馬達與堆高擺放 )、風流控制馬達在Loader與烤箱設備各配置一個連網型PLC控制器；Loader與機械手臂之間的聯繫透過WiFi聯網。
產品應用
半導體工業烤箱、電路板工業烤箱、PCB烘烤設備、面板烘烤設備、ABF載板工業烤箱、LED乾製程、電子產業乾製程、氮氣熱風烤箱...等需乾燥、烘烤製程自動化生產之產業。
烤箱規格 OVEN SPECIFICATION (PLC／PC base)
| 詳細規格說明 | |
| 製程溫度 | RT ~450℃ |
| 溫度均勻度 | ± 1.5% |
| 無塵度 | ISO14644-1 Class 5 @ 0.3 µm |
| 冷卻方式 | 氣冷(N2/CDA)、水冷 |
| 搭配設備 | EFEM 、機械手臂 |
| 含氧量 | 20ppm |
| 操作介面 | 人性化操作介面，並可符合 CIM,Ethernet & SECS/GEM, PCB ECI |
| 選配 | ．氣冷快速降溫方式 ．Solvent 回收系統 ．快拆式內襯裝置 |
| 製程 | 晶片和基板形式固化，用於PR/PI固化和烘烤；是晶圓等級及扇出型面板級封裝最佳固化解決方案。 |
