QWO無氧化烤箱
商品簡述：
- 特殊門後板設計，加熱後絕不變形
- 進口 HEPA FILTER 過濾效率99.97%
- 高無塵度，可達Class 100~Class10
特點說明
- 無氧化烤箱與無塵烤箱不同處，為無氧化烤箱在烘烤時，利用惰性氣體充入箱內，可避免產品氧化問題，氣密性極佳可將含氧量低至10ppm，可達最佳無氧之烘烤環境。
- 10ppm無氧化關鍵技術
．特殊洩壓設計：以排氣量可調之閥件搭配入氣量，使爐內維持正壓，保持低含氧環境。
．管狀電熱出線孔氣密，利用電熱內外絕緣設計，加強氣密性。
．N2節流設計-將氮氣迴路設計切分為兩部份(主/輔)，可自動控制大小流量。
．冷卻夾層設計-引用特殊間接冷卻方式，使降溫時可維持無氧化之環境。
．內門設計-形成無型氮氣氣牆，除阻擋外部氣體進入，同時可阻擋熱散失。
．聯外管道及門框充入N2冷卻並將熱傳導出之廢熱回收以降低能源耗損。
產品應用
IC封裝、晶圓烘烤、鍍膜製程...等各種產業應用。
烤箱規格 OVEN SPECIFICIATION
左右尚有資訊| 型號 | 內尺寸 WxDxH cm |
外尺寸 WxDxH cm |
電源 | 溫度範圍 | 溫度均勻度 |
| QHWO-2 | 61x61x61 | 145x113x122 | 220V 3φ 60HZ 9KVA/15kKVA |
+ 60~300℃ Max. + 60~500℃ Max. |
300℃± 1.5% 500℃± 2% |
| QWO-2DS (兩爐式) |
71x61x56 | 146x96x180 | 220V 3φ 60HZ 12KVA |
+ 60~250℃ Max. | 200℃± 3% (空爐 No-Load) |
| QWO-4D (台車式) |
71x61x91 | 138x90x140 |
