QWO无氧化烤箱
商品编号：QWO
商品简述：
- 无氧化烤箱与无尘烤箱不同处，为无氧化烤箱在烘烤时，利用惰性气体充入箱内，可避免产品氧化问题，气密性极佳可将含氧量低至10ppm，可达最佳无氧之烘烤环境。
特点说明
10ppm无氧化关键技术
- 特殊泄压设计：以排气量可调之阀件搭配入气量，使炉内维持正压，保持低含氧环境。
- 管状电热出线孔气密，利用电热内外绝缘设计，加强气密性。
- N2节流设计：将氮气回路设计切分为两部份(主/辅)，可自动控制大小流量。
- 冷却夹层设计：引用特殊间接冷却方式，使降温时可维持无氧化之环境。
- 内门设计：形成无型氮气气墙，除阻挡外部气体进入，同时可阻挡热散失。
- 联外管道及门框充入N2冷却并将热传导出之废热回收以降低能源耗损。
产品应用
IC封装、晶圆烘烤、镀膜制程、半导体干燥设备、电路版干燥设备、PCB烘烤设备、面板干燥设备、ABF载板干燥设备...等各种需干燥、烘烤制程生产之产业应用。
烤箱规格 OVEN SPECIFICIATION
| 型号 | 内尺寸 WxDxH cm |
外尺寸 WxDxH cm |
电源 | 温度范围 | 温度均匀度 |
| QHWO-2 | 61x61x61 | 145x113x122 | 220V 3φ 60HZ 9KVA/15kKVA |
+ 60~300℃ Max. + 60~500℃ Max. |
300℃± 1.5% 500℃± 2% |
| QWO-2DS (两炉式) |
71x61x56 | 146x96x180 | 220V 3φ 60HZ 12KVA |
+ 60~250℃ Max. | 200℃± 3% (空炉 No-Load) |
| QWO-4D (台车式) |
71x61x91 | 138x90x140 |
