「自動化烘烤專家」 
偉勝乾燥工業參加 2023國際半導體展，
（9月6日至8日，南港展覽館2館1樓）
亮點展品為智能無塵無氧工業烤箱，
它具有智能監控、節能減碳的優點，
也能搭配全自動搬運機器人及自動烘烤設定，
對於投入高階或自動化製程的科技業是絕佳幫手。

 

智能無塵無氧工業烤箱，可應用於半導體製程

這款烤箱針對半導體製程：光阻軟烘烤、顯影硬烘烤、清洗後烘乾或環化乾燥提供解決方案；搭配EFEM或機械手臂，除原有SECS/GEM通訊協議外，藉由搭載IPC、觸控螢幕及獨立應用程式，將機台相關數據上傳雲端，搭配智慧監控鏡頭，提供客端連接智慧工廠，整合物聯網與無人工廠的需求，達成無人工廠自動化目的；同時爐門採自動門設計、兩箱可獨立控制，一箱可烘烤50片晶圓，並從使用者角度思考，設計鍵盤抽屜、文件收納隔層，操作起來更加便利。

針對節能減碳風潮催生的綠色製程，偉勝這款智能烤箱以專利多層風門結構，提高氣密封性超過99%，同時強化機台保溫設計，提升20%至25%的節能效果，並搭配備新的水冷系統，每分鐘冷卻效能平均可達攝氏4.5度，此外，全機使用達60%可回收材料，並結合廢熱回收模組及溶劑（Solvent）回收，可回收25%有機物溶劑，不僅有效減少有機物附著腔體，大大減少後續維護時間，確保產品良率，更進一步達到節電，降低環境汙染的效益。

偉勝乾燥工業，專精自動化乾燥設備的研發、設計、製造和整合，近年配合國、內外知名科技大廠自動化乾燥製程，提供客製化服務，以因應產業各階段不同烘烤、固化製程需求，並配合客戶製程空間應用需求，進行專業的規劃設計，來滿足客戶需求。

經濟日報新聞連結：https://reurl.cc/Ry0YRz

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