予熱乾燥設備
製品概要：
独自のシャフト設計により、板材のかみ込みや熱変形の問題を効果的に回避します。
独自のダンパー装置により、製品のニーズに合わせて最適な温度分布を実現。還気機構との組み合わせで熱エネルギーの再利用が可能で、ESGおよびグリーン製造プロセスの要求に適合します。
高効率省エネモーターを搭載し、長時間の稼働でも顕著な省エネ効果を発揮。省エネ・脱炭素の目的を達成します。
独自のダンパー装置により、製品のニーズに合わせて最適な温度分布を実現。還気機構との組み合わせで熱エネルギーの再利用が可能で、ESGおよびグリーン製造プロセスの要求に適合します。
高効率省エネモーターを搭載し、長時間の稼働でも顕著な省エネ効果を発揮。省エネ・脱炭素の目的を達成します。
特徴
-
独自のシャフト設計により、板材のかみ込みや熱変形の問題を効果的に回避します。
-
低摩耗特性のギアセットにより、発塵量を抑え、装置寿命を延長。
-
独自のダンパー装置により、製品のニーズに合わせて最適な温度分布を実現。還気機構との組み合わせで熱エネルギーの再利用が可能で、ESGおよびグリーン製造プロセスの要求に適合します。
-
耐熱型HEPAを採用し、高水準のクリーン環境を実現。
-
チャンバーは全周アルゴン溶接を施し、外部からの微粒子の侵入を効果的に防ぎ、製品歩留まりを向上。
-
厳選された日本製高密度ロックウールが優れた断熱性能を提供し、卓越した省エネ効率を実現。
-
高効率省エネモーターを搭載し、長時間の稼働でも顕著な省エネ効果を発揮。省エネ・脱炭素の目的を達成します。
製品用途
-
FCBGA（フリップチップ・ボール・グリッド・アレイ基板）＆ FCCSP（フリップチップ・チップ・スケール・パッケージ基板）露光後ベーク
-
ABF – ドライフィルムラミネート前予熱 ＆ リソグラフィ露光後
オーブン仕様 OVEN SPECIFICATION
| 詳細仕様說明 | |
| 型式 | HWPH-1000U-A02 |
| 外寸法 | W950xD1530xH2380 |
| クリーン度 | ISO 14644-1 Class 5 @ 0.3 µm |
| 温度範囲 | RT+10~90°C Max |
| 温度均一性 | ±2°C ( 板温測定 ) |
| 加熱方式 | 連続出板（50枚） < AVG±2°CI |
| 溫度控制 | 熱風式 |
| 電源 | 日本製温度調節器PID + SSR、HMI＋中継PC装置を装備 |
| 適用基板 | 508x508mm、厚さ 0.1~3mm |
| 搬送方式 | 右から左へ（操作側正面） 搬送速度 0.8～3±0.1m/min |
