全自動化高温クリーン・無酸化オーブン
型式：AQHWOL
製品概要：
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全自動化オーブンはEFEMまたはロボットアームとの組み合わせが可能
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関連数値を直接サーバーへアップロードでき、無人化工場への対応の目的を達成
特徴
自動制御・IoT連携-
センサー配置：温度センサー、酸素濃度計、N₂濃度センサー、無人搬送車(AGV)電池容量検知、ワーク在席センサー(Loader/Unloader/オーブン)、扉開閉位置センサー。
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アクチュエータ配置：オーブン自動開閉モーターおよびコントローラー、無人搬送車(AGV)（駆動モーターおよびスタック配置）、エアフロー制御モーターをLoaderとオーブン設備に各1つのネットワーク型PLCコントローラーを配置。Loaderとロボットアーム間の通信はWi-Fi経由で接続。
製品用途
半導体工業用オーブン、回路基板工業用オーブン、PCB熱処理設備、パネル熱処理設備、ABF基板工業用オーブン、LED乾式プロセス、電子産業乾式プロセス、窒素熱風オーブンなど、乾燥・加熱プロセスの自動生産を必要とする業界。
オーブン仕様 OVEN SPECIFICATION
| 詳細仕様說明 | |
| プロセス温度 | RT ~450℃ |
| 温度均一性 | ± 1.5% |
| クリーン度 | ISO 14644-1 Class 5 @ 0.3 µm |
| 冷却方式 | 空冷(N2/CDA)、水冷 |
| 対応設備 | EFEM、ロボットアーム |
| 酸素濃度 | 20 ppm |
| 操作インターフェース | ユーザーフレンドリーな操作インターフェース ．CIM ．Ethernet & SECS/GEM ．PCB ECI |
| オプション | ．空冷式急速冷却 ．溶剤回収システム ．クイックリリース式内張り |
| プロセス | チップおよび基板形態のキュア、PR/PIキュアおよび熱処理に使用。 ウエハレベルおよびファンアウトパネルレベルパッケージングに最適なキュアソリューションです。 |
