偉勝乾燥工業
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2炉式・トップダウンエアフロー 自動化クリーン低酸素オーブン
2炉式・トップダウンエアフロー 自動化クリーン低酸素オーブン
第32回台湾優秀賞受賞
型式:ANWOL
製品概要:
  •  廃熱回収
  •  設備予兆監視・事前警報システム
  •  無人化工場への対応
  •  精密温度制御技術
  •  スマート流量制御モジュール
  •  2炉式・自動扉設計
  •  自動制御・IoT連携

特徴

廃熱回収
  • 特許取得済みの多層ダンパー構造を搭載し、気密性99%以上を実現。断熱設計の向上により、20%〜25%の省エネ効果を発揮します。新水冷システムの平均冷却速度は毎分4.5℃に達し、UPH(時間当たり生産量)を向上させます。装置構成材料の最大60%にリサイクル可能な材料を採用。さらに、廃熱回収モジュールと溶剤回収機能を統合。有機溶剤の25%を回収することでチャンバーへの付着を抑え、メンテナンス時間を短縮し、高い歩留まりを確保します。

設備予兆監視・事前警報システム
  • PCB工場の乾燥工程において、設備には環境安全性が強く求められます。そのため、監視カメラおよび遠隔設定システムを搭載。煙感知器、タッチパネル、直感的な操作インターフェースにより、運用効率の向上と労働災害の低減を両立します。

無人化工場への対応
  • AGV/RGV/MGVまたはロボットアームとの組み合わせが可能。既存の通信プロトコルに加え、IPC、タッチパネル、独立アプリを搭載することでHMIを統合。PCB ECI規格に従ってデータをサーバーへアップロードし、インテリジェント監視カメラと併せて、お客様のスマートファクトリーへの接続を支援します。

精密温度制御技術
  • 炉内温度を低下させることなく、温度均一性をリアルタイムで調整できます。

スマート流量制御モジュール
  • スマート流量制御モジュールの自動調整機能により窒素流量を制御。窒素の大幅な節約と炉内の設定酸素濃度の維持を両立し、無酸化熱処理を実現します。

2炉式・自動扉設計
  • 炉のドアは自動ドア設計を採用し、2つの炉室を個別に制御できます。

自動制御・IoT連携
  • センサー配置:温度センサー、酸素濃度計、N₂濃度センサー、無人搬送車(AGV)電池容量検知、ワーク在席センサー(Loader/Unloader/オーブン)、扉開閉位置センサー。

  • アクチュエータ配置:オーブン自動開閉モーターおよびコントローラー、無人搬送車(AGV)(駆動モーターおよびスタック配置)、エアフロー制御モーターをLoaderとオーブン設備に各1つのネットワーク型PLCコントローラーを配置。Loaderとロボットアーム間の通信はWi-Fi経由で接続。

製品用途

        半導体乾燥装置、回路基板乾燥装置、PCB熱処理設備、パネル乾燥装置、ABF基板乾燥装置、LED乾式プロセス、電子産業乾式プロセス、窒素熱風オーブンなど、乾燥・加熱プロセスの自動生産を必要とする業界。

オーブン仕様 OVEN SPECIFICATION 

↔️左右尚有資訊
詳細仕様說明
プロセス温度 RT ~450℃
温度均一性 ± 1.5%
クリーン度 ISO 14644-1 Class 5 @ 0.3 µm
冷却方式 空冷(N2/CDA)、水冷
対応設備 EFEM、ロボットアーム
酸素濃度 20 ppm
操作インターフェース ユーザーフレンドリーな操作インターフェース、各種規格にも適合
.CIM
.Ethernet & SECS/GEM
.PCB ECI
オプション .空冷式急速冷却
.溶剤回収システム
.クイックリリース式内張り
プロセス .チップおよび基板形態のキュア
.PR/PIキュアおよび熱処理
ウエハレベルおよびファンアウトパネルレベルパッケージングに最適なキュアソリューションです。
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