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廃熱回収
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設備予兆監視・事前警報システム
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無人化工場への対応
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精密温度制御技術
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スマート流量制御モジュール
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2炉式・自動扉設計
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自動制御・IoT連携
特徴
廃熱回収-
特許取得済みの多層ダンパー構造を搭載し、気密性99%以上を実現。断熱設計の向上により、20%〜25%の省エネ効果を発揮します。新水冷システムの平均冷却速度は毎分4.5℃に達し、UPH(時間当たり生産量)を向上させます。装置構成材料の最大60%にリサイクル可能な材料を採用。さらに、廃熱回収モジュールと溶剤回収機能を統合。有機溶剤の25%を回収することでチャンバーへの付着を抑え、メンテナンス時間を短縮し、高い歩留まりを確保します。
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PCB工場の乾燥工程において、設備には環境安全性が強く求められます。そのため、監視カメラおよび遠隔設定システムを搭載。煙感知器、タッチパネル、直感的な操作インターフェースにより、運用効率の向上と労働災害の低減を両立します。
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AGV/RGV/MGVまたはロボットアームとの組み合わせが可能。既存の通信プロトコルに加え、IPC、タッチパネル、独立アプリを搭載することでHMIを統合。PCB ECI規格に従ってデータをサーバーへアップロードし、インテリジェント監視カメラと併せて、お客様のスマートファクトリーへの接続を支援します。
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炉内温度を低下させることなく、温度均一性をリアルタイムで調整できます。
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スマート流量制御モジュールの自動調整機能により窒素流量を制御。窒素の大幅な節約と炉内の設定酸素濃度の維持を両立し、無酸化熱処理を実現します。
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炉のドアは自動ドア設計を採用し、2つの炉室を個別に制御できます。
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センサー配置:温度センサー、酸素濃度計、N₂濃度センサー、無人搬送車(AGV)電池容量検知、ワーク在席センサー(Loader/Unloader/オーブン)、扉開閉位置センサー。
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アクチュエータ配置:オーブン自動開閉モーターおよびコントローラー、無人搬送車(AGV)(駆動モーターおよびスタック配置)、エアフロー制御モーターをLoaderとオーブン設備に各1つのネットワーク型PLCコントローラーを配置。Loaderとロボットアーム間の通信はWi-Fi経由で接続。
製品用途
半導体乾燥装置、回路基板乾燥装置、PCB熱処理設備、パネル乾燥装置、ABF基板乾燥装置、LED乾式プロセス、電子産業乾式プロセス、窒素熱風オーブンなど、乾燥・加熱プロセスの自動生産を必要とする業界。

オーブン仕様 OVEN SPECIFICATION
| 詳細仕様說明 | |
| プロセス温度 | RT ~450℃ |
| 温度均一性 | ± 1.5% |
| クリーン度 | ISO 14644-1 Class 5 @ 0.3 µm |
| 冷却方式 | 空冷(N2/CDA)、水冷 |
| 対応設備 | EFEM、ロボットアーム |
| 酸素濃度 | 20 ppm |
| 操作インターフェース | ユーザーフレンドリーな操作インターフェース、各種規格にも適合 .CIM .Ethernet & SECS/GEM .PCB ECI |
| オプション | .空冷式急速冷却 .溶剤回収システム .クイックリリース式内張り |
| プロセス | .チップおよび基板形態のキュア .PR/PIキュアおよび熱処理 ウエハレベルおよびファンアウトパネルレベルパッケージングに最適なキュアソリューションです。 |
