QWO 無酸化オーブン
型式：QWO
製品概要：
無酸化オーブンとクリーンオーブンの違いは、加熱時に不活性ガスを筐体内に充填することで製品の酸化問題を回避できる点にあります。極めて優れた気密性により、酸素濃度を 10ppm まで低減し、最適な無酸素加熱環境を実現します。
特徴
酸素濃度10 ppmを実現する低酸素化技術
-
特殊な圧力開放設計：排気量調整可能なバルブと吸気量を組み合わせることで炉内を正圧に保ち、低酸素環境を維持します。
-
シーズヒーター貫通部の気密化：ヒーターの内外絶縁設計を利用し、気密性を強化しています。
-
N2節流設計：窒素回路を2系統（メイン/サブ）に分割設計し、大流量・小流量を自動制御します。
-
冷却ジャケット設計：特殊な間接冷却方式を採用し、降温時でも無酸素環境を維持可能。
-
内扉設計：窒素エアカーテンを形成し、外部ガスの侵入を防ぐと同時に、熱損失を抑制。
-
外部配管およびドア枠にN2を充填して冷却し、伝導した廃熱を回収することでエネルギー損失を低減。
製品用途
ICパッケージング、ウエハ加熱処理、コーティング工程、半導体乾燥装置、回路基板乾燥装置、PCB熱処理設備、パネル乾燥装置、ABF基板乾燥装置など、乾燥・熱処理工程を必要とする各種業界。
オーブン仕様 OVEN SPECIFICIATION
| 型式 | 內寸法 WxDxH cm |
外寸法 WxDxH cm |
電源 | 温度範囲 | 温度均一性 |
| QHWO-2 | 61x61x61 | 145x113x122 | 220V 3φ 60HZ 9KVA/15kKVA |
+ 60~300℃ Max. + 60~500℃ Max. |
300℃± 1.5% 500℃± 2% |
| QWO-2DS
(2槽式)
|
71x61x56 | 146x96x180 | 220V 3φ 60HZ 12KVA |
+ 60~250℃ Max. | 200℃± 3% (空炉 No-Load) |
| QWO-4D (台車式) |
71x61x91 | 138x90x140 |
