偉勝乾燥工業は、乾燥装置分野におけるリーディングカンパニーとして、自動化乾燥装置の研究開発、設計、製造、統合に力を注ぎ、あらゆる産業の製造プロセスにおける高度な要求に応えてきました。まもなく開催される「SEMICON Taiwan 2024」において、偉勝は、最先端の光学・熱処理テクノロジーとAIを融合させた最新装置を披露します。これにより、スマートファクトリーの技術革新をさらに加速させ、皆様と共にインダストリー5.0の新時代を切り拓きます。
当社は、技術革新を追求し続けるとともに、技術サポートとシステムインテグレーションの向上に力を注ぎ、さらに、半導体産業の厳格な基準をクリアする画期的な「全自動高温クリーン・無酸化オーブン」を開発しました。本設備はEFEMを搭載可能で、標準ウエハロードポートを完備。FOUPやロボットアームとの連携により、ウエハの高効率なローディング／アンローディングを実現し、無人工場の確立へと導きます。
全自動高温クリーン・無酸化オーブンの特徴：
- 特許無段階制御ダンパー：特許技術の無段階制御ダンパーを搭載。プログラムによって弁の開度をコントロールすることで、高い気密性を備えた無酸素環境を提供し、さまざまなカスタマイズ製造プロセスのニーズに対応します。
- 均熱調節装置：内部に精密な均熱調節装置を搭載。吹き出し口の角度を調節することで、熱対流効果によって生じる温度差を改善します。これにより、炉内の各エリアの温度を均一に保ち、製造プロセスで求められる厳格な温度条件をクリアします。本装置の製造プロセスにおける加熱温度は450℃まで対応可能です。
- 耐熱型高効率フィルター：特殊シーリング工法を採用した日本製高耐熱フィルターを搭載。炉内の清浄度を維持し、製品の歩留まり向上に貢献します。
- 炉圧調節装置：炉内の圧力を精密にコントロールし、より安定した製造プロセス条件を提供します。
- チャンバー冷却ジャケット：チャンバー外壁に配置された冷却ジャケットと放熱フィンが、強制空冷による対流システムを利用して降温レートを加速。同時に、炉内の無酸素環境の安定性を維持します。
- 電気・電子コンポーネント配線：ダイレクト配線設計を採用。電気設備法規や顧客の配線仕様に遵守することで、接触不良や労働災害のリスクを効果的に低減します。
- 背面メンテナンス扉：装置の背面に保守・点検に便利なメンテナンス扉を配置。他の装置の生産稼働を止めることなく、該当機のみを単独でオフラインにして検修・メンテナンスを行うことができます。
- 金属製ウエハキャリア：8インチおよび12インチのウエハに対応。耐熱性に優れ、発塵のない金属材料を採用しています。特殊なポジショニング構造により、位置や寸法公差のずれを防ぎ、アセンブリ精度を確保します。
- 自動炉扉：自動炉扉を標準装備。モーターによって両側の機構を駆動させ、昇降に必要な動力を提供します。さらに、安全装置を組み込むことで、完全な同調昇降と安全性を確保します。
- 自動制御およびIoT統合システム：センサーとアクチュエーターを駆使して製造プロセスのデジタル化およびスマート管理を実現。作業プロセスをデジタル化・数値化します。また、ネットワーク対応型PLCによる各データのリアルタイムモニタリングだけでなく、Wi-Fiを介して情報をW-AIMS（偉勝AI管理システム）にアップロード。これにより、高効率かつデジタル化された無人工場を実現します。
本設備は、半導体、PCB、ABFキャリア基板、LEDをはじめとする幅広い産業に広く採用されています。お客様にワンストップ・ソリューションを提供することで、高度な自動化とスマート生産の実現をサポートし、生産効率の最大化と製品歩留まりの向上に貢献します。
